Isostatic PECVD grafit Parahu

Katerangan pondok:

Parahu grafit Isostatic PECVD loba dipaké dina sagala rupa tumbu manufaktur semikonduktor, kayaning déposisi pilem polysilicon, déposisi pilem oksida, déposisi pilem nitride, jsb kinerja alus teuing ngajadikeun eta hiji pamawa wafer idéal dina prosés PECVD.

Kirim surélék ka kami

Rincian produk

Tag produk

Parahu grafit PECVD isostatik SEMICERA nyaéta produk grafit dénsitas luhur kalayan kemurnian luhur anu dirancang pikeun ngadukung wafer dina prosés PECVD (deposisi uap kimia anu ditingkatkeun plasma). SEMICERA migunakeun téhnologi mencét isostatic canggih pikeun mastikeun yén parahu grafit boga résistansi suhu luhur alus teuing, résistansi korosi, stabilitas dimensi jeung konduktivitas termal alus, nu mangrupa consumable indispensable dina prosés manufaktur semikonduktor.

SEMICERA isostatic PECVD grafit boat boga kaunggulan handap:

▪ Purity High: Bahan grafit nyaeta tina purity tinggi jeung eusi najis low pikeun nyegah kontaminasi tina beungeut wafer.

▪ Kapadetan luhur: Kapadetan luhur, kakuatan mékanis anu luhur, tiasa tahan suhu luhur sareng lingkungan vakum anu luhur.

▪ stabilitas dimensi alus: robah dimensi leutik dina suhu luhur pikeun mastikeun stabilitas prosés.

▪ konduktivitas termal alus teuing: Éféktif mindahkeun panas pikeun nyegah overheating wafer.

▪ Résistansi korosi anu kuat: Mampuh nolak erosi ku rupa-rupa gas korosif sareng plasma.

Parameter kinerja	semicera	SGL R6510	Parameter kinerja
Kapadetan bulk (g/cm3)	1.91	1.83	1.85
Kakuatan lentur (MPa)	63	60	49
Kakuatan komprési (MPa)	135	130	103
Teu karasa Shore (HS)	70	64	60
Koéfisién ékspansi termal (10-6/K)	85	105	130
Koéfisién ékspansi termal (10-6/K)	5.85	4.2	5.0
Résistansi (μΩm)	11-13	13	10

Kaunggulan tina milih kami:
▪ Pilihan bahan: bahan grafit-purity High dipaké pikeun mastikeun kualitas produk.
▪ Téknologi pangolahan: Pencét isostatik digunakeun pikeun mastikeun dénsitas produk sareng keseragaman.
▪ Ukuran kustomisasi: Parahu grafit tina ukuran jeung wangun béda bisa ngaropéa nurutkeun pangabutuh customer.
▪ Perlakuan permukaan: Rupa-rupa métode perlakuan permukaan disadiakeun, kayaning palapis silikon carbide, boron nitride, jsb, pikeun minuhan sarat prosés béda.