Alesan utama anu mangaruhan kaseragaman résistansi radial tina kristal tunggal nyaéta flatness antarbeungeut padet-cair sareng pangaruh pesawat leutik nalika pertumbuhan kristal.
Pangaruh flatness antarbeungeut padet-cair Salila tumuwuhna kristal, lamun ngalembereh diaduk merata, beungeut lalawanan sarua nyaéta antarbeungeut padet-cair (konsentrasi impurity dina ngalembereh béda ti konsentrasi impurity dina kristal, jadi résistivitasna béda, sareng résistansina sami ngan ukur dina antarmuka padet-cair). Nalika impurity K <1, panganteur gilig mun ngalembereh bakal ngabalukarkeun résistansi radial janten tinggi di tengah jeung low di tepi, sedengkeun panganteur kerung mun ngalembereh sabalikna. The radial resistivity uniformity tina panganteur solid-cair datar leuwih hadé. Bentuk antarbeungeut padet-cair nalika narik kristal ditangtukeun ku faktor sapertos distribusi médan termal sareng parameter operasi pertumbuhan kristal. Dina kristal tunggal anu ditarik lempeng, bentuk permukaan padet-cair mangrupikeun hasil tina pangaruh gabungan faktor sapertos distribusi suhu tungku sareng dissipation panas kristal.
Nalika narik kristal, aya opat jinis utama bursa panas dina antarmuka padet-cair:
Panas laten parobahan fase dileupaskeun ku solidification silikon molten
Konduksi panas tina ngalembereh
Konduksi panas ka luhur ngaliwatan kristal
Radiasi panas kaluar ngaliwatan kristal
Panas laten nyaéta seragam pikeun sakabéh panganteur, sarta ukuranana teu robah lamun laju tumuwuh konstan. (Konduksi panas gancang, cooling gancang, sarta ngaronjat laju solidification)
Nalika kapala kristal tumuwuh deukeut ka rod kristal cikal cai-tiis tina tungku kristal tunggal, gradién hawa dina kristal badag, nu ngajadikeun konduksi panas longitudinal kristal leuwih gede dibandingkeun panas radiasi permukaan, jadi panganteur solid-cair gilig pikeun ngalembereh.
Nalika kristal tumuwuh ka tengah, konduksi panas longitudinal sarua jeung panas radiasi permukaan, jadi panganteur lempeng.
Dina buntut kristal, konduksi panas longitudinal kirang ti panas radiasi permukaan, sahingga antarbeungeut padet-cairan kerung mun ngalembereh.
Pikeun ménta kristal tunggal kalawan résistansi radial seragam, panganteur solid-cair kudu diratakeun.
Métode anu dianggo nyaéta: ①Saluyukeun sistem termal pertumbuhan kristal pikeun ngirangan gradién suhu radial médan termal.
②Saluyukeun parameter operasi narik kristal. Contona, pikeun panganteur gilig mun ngalembereh, ningkatkeun laju narik pikeun ngaronjatkeun laju solidification kristal. Dina waktu ieu, alatan kanaékan panas laten kristalisasi dileupaskeun dina panganteur nu, suhu ngalembereh deukeut panganteur naek, hasilna lebur tina bagian tina kristal dina panganteur, sahingga panganteur datar. Sabalikna, lamun antarbeungeut tumuwuhna kerung nuju ngalembereh, laju tumuwuhna bisa ngurangan, sarta ngalembereh bakal solidify volume saluyu, sahingga panganteur tumuwuhna datar.
③ Saluyukeun laju rotasi kristal atawa crucible. Ngaronjatkeun laju rotasi kristal bakal ningkatkeun aliran cairan suhu luhur pindah ti handap ka luhur dina panganteur solid-cair, sahingga panganteur robah tina gilig ka kerung. Arah aliran cairan disababkeun ku rotasi crucible sarua jeung convection alam, sarta pangaruh sagemblengna sabalikna ti rotasi kristal.
④ Ngaronjatkeun babandingan diaméter jero crucible jeung diaméter kristal bakal rarata panganteur solid-cair, sarta ogé bisa ngurangan dénsitas dislocation jeung eusi oksigén dina kristal. Sacara umum, diaméter crucible: diaméter kristal = 3 ~ 2.5: 1.
Pangaruh tina pangaruh pesawat leutik
Antarbeungeut padet-cair tumuwuhna kristal mindeng melengkung alatan watesan isotherm lebur dina crucible nu. Lamun kristal diangkat gancang salila tumuwuhna kristal, hiji pesawat datar leutik bakal muncul dina panganteur padet-cair tina (111) germanium jeung silikon kristal tunggal. Ieu téh mangrupa (111) atom pesawat nutup-dipak, biasana disebut pesawat leutik.
Konsentrasi najis di wewengkon pesawat leutik pisan béda ti nu di wewengkon pesawat non-leutik. Fenomena ieu distribusi abnormal tina najis di wewengkon pesawat leutik disebut efek pesawat leutik.
Kusabab pangaruh pesawat leutik, résistansi daérah pesawat leutik bakal turun, sareng dina kasus parna, teras pipa najis bakal muncul. Dina raraga ngaleungitkeun inhomogeneity résistansi radial disababkeun ku pangaruh pesawat leutik, panganteur solid-cair perlu ditujukeun.
Wilujeng sumping palanggan ti sakumna dunya pikeun nganjang ka kami pikeun diskusi salajengna!
https://www.semi-cera.com/
https://www.semi-cera.com/tac-coating-monocrystal-growth-parts/
https://www.semi-cera.com/cvd-coating/
waktos pos: Jul-24-2024