Kahiji, nempatkeun silikon polycrystalline na dopants kana crucible quartz dina tungku kristal tunggal, ngangkat hawa ka leuwih ti 1000 derajat, sarta ménta silikon polycrystalline dina kaayaan molten.
Tumuwuh ingot silikon nyaéta prosés nyieun silikon polycrystalline kana silikon kristal tunggal. Saatos silikon polycrystalline dipanaskeun jadi cair, lingkungan termal ieu persis dikawasa tumuwuh jadi kristal tunggal kualitas luhur.
Konsep patali:
Tumuwuh kristal tunggal:Saatos suhu solusi silikon polycrystalline stabil, kristal siki lalaunan diturunkeun kana lebur silikon (kristal siki ogé bakal dilebur dina lebur silikon), teras kristal siki diangkat dina laju anu tangtu pikeun seeding. prosés. Lajeng, dislocations dihasilkeun salila prosés seeding anu ngaleungitkeun ngaliwatan operasi necking. Nalika beuheung geus shrunk ka panjangna cukup, diaméter silikon kristal tunggal ieu enlarged kana nilai target ku nyaluyukeun laju tarikan jeung hawa, lajeng diaméterna sarua dijaga tumuwuh nepi ka panjangna target. Tungtungna, guna nyegah dislocation ti ngalegaan mundur, ingot kristal tunggal rengse pikeun ménta ingot kristal tunggal rengse, lajeng eta dicokot kaluar sanggeus hawa geus leuwih tiis.
Métode pikeun nyiapkeun silikon kristal tunggal:Métode CZ jeung métode FZ. Métode CZ disingget jadi métode CZ. Ciri tina metodeu CZ nyaéta yén éta diringkeskeun dina sistem termal silinder lempeng, ngagunakeun pemanasan résistansi grafit pikeun ngalebur silikon polikristalin dina crucible quartz purity tinggi, teras nyelapkeun kristal siki kana permukaan ngalembereh pikeun las, bari muterkeun kristal cikal, lajeng ngabalikeun crucible. Kristal cikal lalaunan diangkat ka luhur, sarta sanggeus prosés seeding, enlargement, rotasi taktak, tumuwuhna diaméter sarua, sarta tailing, silikon kristal tunggal dicandak.
Métode lebur zona nyaéta metode ngagunakeun ingot polikristalin pikeun ngalebur sareng ngakristalkeun kristal semikonduktor di daérah anu béda. Énergi termal dipaké pikeun ngahasilkeun zona lebur dina hiji tungtung rod semikonduktor, lajeng hiji kristal cikal kristal dilas. Suhu disaluyukeun pikeun nyieun zona lebur lalaunan pindah ka tungtung nu sejen rod, sarta ngaliwatan sakabeh rod, hiji kristal tunggal tumuwuh, sarta orientasi kristal sarua jeung kristal cikal. Métode lebur zona dibagi jadi dua jinis: métode lebur zona horizontal sareng metode lebur zona gantung nangtung. Urut utamana dipaké pikeun purifikasi sarta pertumbuhan kristal tunggal bahan kayaning germanium na GaAs. Panungtungan nyaéta ngagunakeun coil frékuénsi luhur dina atmosfir atawa tungku vakum pikeun ngahasilkeun zona lebur dina kontak antara kristal cikal kristal tunggal jeung rod silikon polycrystalline ditunda luhureun eta, lajeng mindahkeun zone molten ka luhur tumuwuh hiji tunggal. kristal.
Sakitar 85% wafer silikon diproduksi ku metode Czochralski, sareng 15% wafer silikon diproduksi ku metode lebur zona. Numutkeun aplikasina, silikon kristal tunggal anu dipelak ku metodeu Czochralski utamina dianggo pikeun ngahasilkeun komponén sirkuit terpadu, sedengkeun silikon kristal tunggal anu ditumbuh ku metode lebur zona utamina dianggo pikeun semikonduktor kakuatan. Metoda Czochralski ngabogaan prosés dewasa sarta leuwih gampang tumuwuh badag-diaméterna silikon kristal tunggal; Métode lebur zona ngalembereh henteu ngahubungi wadahna, henteu gampang kacemar, ngagaduhan kamurnian anu langkung luhur, sareng cocog pikeun ngahasilkeun alat éléktronik kakuatan tinggi, tapi langkung hese tumuwuh silikon kristal tunggal diaméterna ageung, sarta umumna ngan dipaké pikeun 8 inci atawa kirang diaméterna. video nembongkeun metoda Czochralski.
Alatan kasusah dina ngadalikeun diaméter rod silikon kristal tunggal dina prosés narik kristal tunggal, dina urutan pikeun ménta rod silikon diaméter baku, kayaning 6 inci, 8 inci, 12 inci, jsb Sanggeus narik tunggal. kristal, diaméter ingot silikon bakal digulung jeung taneuh. Beungeut rod silikon sanggeus rolling lemes jeung kasalahan ukuranana leuwih leutik.
Ngagunakeun téhnologi motong kawat canggih, ingot kristal tunggal dipotong kana wafers silikon ketebalan cocog ngaliwatan parabot slicing.
Kusabab ketebalan leutik tina wafer silikon, ujung wafer silikon sanggeus motong pisan seukeut. Tujuan grinding ujung nyaéta pikeun ngabentuk ujung lemes jeung teu gampang megatkeun dina manufaktur chip hareup.
LAPPING nyaéta pikeun nambahkeun wafer antara piring Pilihan beurat jeung plat kristal handap, sarta nerapkeun tekanan sarta muterkeun kalawan abrasive sangkan wafer datar.
Etching mangrupikeun prosés pikeun ngaleungitkeun karusakan permukaan wafer, sareng lapisan permukaan anu rusak ku pamrosésan fisik dibubarkeun ku larutan kimia.
Ngagiling dua sisi mangrupikeun prosés pikeun ngajantenkeun wafer langkung datar sareng ngaleungitkeun tonjolan leutik dina permukaan.
RTP mangrupikeun prosés pemanasan gancang wafer dina sababaraha detik, supados cacad internal wafer seragam, pangotor logam diteken, sareng operasi semikonduktor anu teu normal dicegah.
Polishing mangrupikeun prosés anu ngajamin kelancaran permukaan ngaliwatan mesin precision permukaan. Pamakéan polishing slurry na polishing lawon, digabungkeun jeung hawa luyu, tekanan sarta speed rotasi, bisa ngaleungitkeun lapisan ruksakna mékanis ditinggalkeun ku prosés saméméhna tur meunangkeun wafers silikon kalawan flatness permukaan alus teuing.
Tujuan beberesih nyaéta ngaleupaskeun zat organik, partikel, logam, jeung sajabana sésana dina beungeut wafer silikon sanggeus polishing, ku kituna pikeun mastikeun kabersihan beungeut wafer silikon sarta minuhan sarat kualitas prosés saterusna.
The flatness & résistansi tester ngadeteksi wafer silikon sanggeus polishing jeung beberesih pikeun mastikeun yén ketebalan, flatness, flatness lokal, curvature, warpage, resistivity, jsb tina wafer silikon digosok minuhan kabutuhan customer.
PARTICLE COUNTING mangrupikeun prosés pikeun mariksa sacara saksama permukaan wafer, sareng cacad permukaan sareng kuantitas ditangtukeun ku paburencay laser.
EPI GROWING nyaéta prosés pikeun tumuwuh pilem kristal tunggal silikon kualitas luhur dina wafer silikon digosok ku déposisi kimia fase uap.
Konsep patali:Tumuwuh epitaxial: nujul kana tumuwuhna lapisan kristal tunggal kalawan sarat nu tangtu sarta orientasi kristal sarua salaku substrat dina substrat kristal tunggal (substrat), kawas kristal aslina ngalegaan ka luar pikeun bagian. Téknologi pertumbuhan epitaxial dikembangkeun dina ahir 1950-an sareng awal 1960-an. Dina waktos éta, pikeun ngahasilkeun alat-alat frekuensi tinggi sareng kakuatan tinggi, éta kedah ngirangan résistansi séri kolektor, sareng bahanna diperyogikeun pikeun tahan tegangan tinggi sareng arus anu luhur, janten kedah tumbuh ipis tinggi- Lapisan epitaxial résistansi dina substrat résistansi rendah. Lapisan kristal tunggal anyar anu tumuwuh sacara epitaxially tiasa bénten ti substrat dina hal jinis konduktivitas, résistansi, jsb. kinerja alat.
Bungkusan nyaéta bungkusan tina produk mumpuni ahir.
waktos pos: Nov-05-2024