Ratusan prosés anu diperlukeun pikeun ngahurungkeun awaferkana semikonduktor. Salah sahiji prosés pangpentingna nyaétaétsa- nyaeta, ukiran pola circuit rupa dinawafer. Kasuksésan tinaétsaprosés gumantung kana ngatur rupa variabel dina rentang distribution set, sarta unggal alat etching kudu disiapkeun pikeun beroperasi dina kaayaan optimal. Insinyur prosés etching kami nganggo téknologi manufaktur anu saé pikeun ngarengsekeun prosés anu lengkep ieu.
Pusat Berita SK Hynix ngawawancara anggota tim téknis Icheon DRAM Front Etch, Middle Etch, sareng End Etch pikeun diajar langkung seueur ngeunaan padamelan na.
Etch: Lalampahanna kana Perbaikan Produktivitas
Dina manufaktur semikonduktor, etching nujul kana pola ukiran dina film ipis. Pola disemprot nganggo plasma pikeun ngabentuk garis ahir unggal léngkah prosés. Tujuan utami nyaéta pikeun sampurna nampilkeun pola anu tepat dumasar kana perenah sareng ngajaga hasil anu seragam dina sadaya kaayaan.
Upami aya masalah dina prosés déposisi atanapi fotolitografi, éta tiasa direngsekeun ku téknologi étsa selektif (Etch). Nanging, upami aya anu salah salami prosés etching, kaayaan éta henteu tiasa dibalikkeun. Ieu kusabab bahan anu sarua teu bisa dieusian di wewengkon engraved. Ku alatan éta, dina prosés manufaktur semikonduktor, etching penting pisan pikeun nangtukeun ngahasilkeun sakabéh jeung kualitas produk.
Prosés etching ngawengku dalapan hambalan: ISO, BG, BLC, GBL, SNC, M0, SN jeung MLM.
Kahiji, tahap ISO (Isolasi) etches (Etch) silikon (Si) dina wafer pikeun nyieun wewengkon sél aktip. Tahap BG (Gerbang Terkubur) ngabentuk baris alamat baris (Word Line) 1 jeung gerbang pikeun nyieun saluran éléktronik. Salajengna, tahap BLC (Bit Line Contact) nyiptakeun sambungan antara ISO jeung garis alamat kolom (Bit Line) 2 di wewengkon sél. Tahap GBL (Peri Gate + Cell Bit Line) sakaligus bakal nyiptakeun garis alamat kolom sél sareng gerbang di periphery 3.
Tahap SNC (Storage Node Contract) terus nyiptakeun sambungan antara daérah aktip sareng titik panyimpen 4. Salajengna, tahap M0 (Metal0) ngabentuk titik sambungan tina S/D periferal (Storage Node) 5 sareng titik sambungan. antara garis alamat kolom jeung titik gudang. Tahap SN (Storage Node) mastikeun kapasitas unit, sareng tahap MLM (Multi Layer Metal) salajengna nyiptakeun catu daya éksternal sareng kabel internal, sareng prosés rékayasa etching (Etch) parantos réngsé.
Nunjukkeun yen etching (Etch) technicians utamana jawab pola semikonduktor, departemén DRAM dibagi kana tilu tim: Front Etch (ISO, BG, BLC); Etch Tengah (GBL, SNC, M0); Tungtung Etch (SN, MLM). Tim ieu ogé dibagi dumasar kana posisi manufaktur sareng posisi alat.
Posisi manufaktur tanggung jawab pikeun ngatur sareng ningkatkeun prosés produksi unit. Posisi manufaktur maénkeun peran anu penting dina ningkatkeun hasil sareng kualitas produk ngaliwatan kontrol variabel sareng ukuran optimasi produksi anu sanés.
Posisi alat tanggung jawab pikeun ngatur sareng nguatkeun alat produksi pikeun ngahindarkeun masalah anu tiasa lumangsung nalika prosés etching. Tanggung jawab inti tina posisi alat nyaéta pikeun mastikeun kinerja alat anu optimal.
Sanaos tanggung jawabna jelas, sadaya tim damel pikeun tujuan anu sami - nyaéta, ngatur sareng ningkatkeun prosés produksi sareng alat anu aya hubunganana pikeun ningkatkeun produktivitas. Pikeun tujuan ieu, unggal tim aktip babagi prestasi sorangan jeung wewengkon pikeun perbaikan, sarta cooperates pikeun ngaronjatkeun kinerja bisnis.
Kumaha Cope jeung tantangan téhnologi miniaturization
SK Hynix ngamimitian produksi masal produk 8Gb LPDDR4 DRAM pikeun prosés kelas 10nm (1a) dina Juli 2021.
Pola sirkuit mémori semikonduktor parantos asup kana jaman 10nm, sareng saatos perbaikan, hiji DRAM tiasa nampung sakitar 10,000 sél. Ku alatan éta, sanajan dina prosés etching, margin prosés teu cukup.
Lamun kabentuk liang (liang) 6 teuing leutik, eta bisa muncul "unopened" na meungpeuk bagian handap chip. Sajaba ti éta, lamun liang kabentuk badag teuing, "bridging" bisa lumangsung. Nalika celah antara dua liang teu cukup, "bridging" lumangsung, hasilna masalah adhesion silih dina lengkah saterusna. Salaku semikonduktor jadi beuki refined, rentang nilai ukuran liang laun nyusut, sarta resiko ieu laun bakal ngaleungitkeun.
Pikeun ngajawab masalah di luhur, ahli téhnologi etching terus ngaronjatkeun proses, kaasup modifying resep prosés jeung algoritma APC7, sarta ngawanohkeun téhnologi etching anyar kayaning ADCC8 na LSR9.
Nalika kabutuhan palanggan janten langkung rupa-rupa, tangtangan sanésna muncul - tren produksi multi-produk. Pikeun nyumponan kabutuhan palanggan sapertos kitu, kaayaan prosés anu dioptimalkeun pikeun unggal produk kedah diatur nyalira. Ieu mangrupikeun tantangan anu khusus pikeun insinyur sabab aranjeunna kedah ngadamel téknologi produksi masal pikeun nyumponan kabutuhan kaayaan anu mapan sareng kaayaan anu béda.
Pikeun tujuan ieu, insinyur Etch ngenalkeun téknologi "APC offset" 10 pikeun ngatur rupa-rupa turunan dumasar kana produk inti (Produk Inti), sareng ngadegkeun sareng nganggo "sistem T-indéks" pikeun ngatur sagala rupa produk sacara komprehensif. Ngaliwatan usaha ieu, sistem geus terus ningkat pikeun minuhan kaperluan produksi multi-produk.
waktos pos: Jul-16-2024