Semikonduktor Semicera ngarencanakeun pikeun ngaronjatkeun produksi komponén inti pikeun parabot manufaktur semikonduktor global. Ku 2027, urang Tujuan pikeun ngadegkeun pabrik anyar 20.000 méter pasagi kalawan total investasi 70 juta USD. Salah sahiji komponén inti urang, étasilikon karbida (SiC) wafer carrier, ogé katelah susceptor a, geus katempo kamajuan signifikan. Janten, naon persisna baki ieu anu nahan wafer?
Dina prosés manufaktur wafer, lapisan epitaxial diwangun dina substrat wafer tangtu pikeun nyieun alat. Salaku conto, lapisan epitaxial GaAs disiapkeun dina substrat silikon pikeun alat LED, lapisan epitaxial SiC ditumbuhkeun dina substrat SiC conductive pikeun aplikasi kakuatan sapertos SBDs sareng MOSFETs, sareng lapisan epitaxial GaN diwangun dina substrat SiC semi-insulating pikeun aplikasi RF sapertos HEMTs. . prosés ieu beurat ngandelkeundéposisi uap kimiawi (CVD)parabot.
Dina alat CVD, substrat teu bisa disimpen langsung dina logam atawa basa basajan pikeun déposisi epitaxial alatan rupa-rupa faktor kawas aliran gas (horizontal, nangtung), suhu, tekanan, stabilitas, sarta kontaminasi. Ku alatan éta, susceptor dipaké pikeun nempatkeun substrat dina, sangkan déposisi epitaxial maké téhnologi CVD. susceptor Ieu tehSiC-coated grafit susceptor.
susceptors grafit coated SiC ilaharna dipaké dina alat-alat Metal-Organic Chemical Vapor Deposition (MOCVD) pikeun ngarojong jeung panas substrat kristal tunggal. The stabilitas termal sarta uniformity tina susceptors grafit coated SiCpenting pisan pikeun kualitas pertumbuhan bahan epitaxial, ngajantenkeun komponén inti tina alat MOCVD (perusahaan peralatan MOCVD anu unggul sapertos Veeco sareng Aixtron). Ayeuna, téhnologi MOCVD loba dipaké dina tumuwuhna epitaxial film GaN pikeun LEDs biru alatan kesederhanaan anak, laju tumuwuh controllable, sarta purity tinggi. Salaku bagian penting tina reaktor MOCVD, étasusceptor pikeun pertumbuhan epitaxial pilem GaNkudu boga résistansi-suhu luhur, konduktivitas termal seragam, stabilitas kimiawi, sarta résistansi shock termal kuat. Grafit minuhan sarat ieu sampurna.
Salaku komponén inti pakakas MOCVD, susceptor grafit ngarojong tur heats substrat single-kristal, langsung mangaruhan uniformity na purity bahan pilem. Kualitasna langsung mangaruhan kana persiapan wafer epitaxial. Sanajan kitu, kalawan ngaronjat pamakéan sarta varying kaayaan gawé, susceptors grafit gampang dipaké kaluar sarta dianggap consumables.
susceptors MOCVDkedah gaduh ciri palapis anu tangtu pikeun nyumponan sarat ieu:
- - Liputan anu saé:Lapisan kedah lengkep nutupan susceptor grafit kalayan kapadetan anu luhur pikeun nyegah korosi dina lingkungan gas korosif.
- -Kakuatan beungkeutan High:Lapisanna kedah ngabeungkeut kuat kana susceptor grafit, tahan sababaraha siklus suhu luhur sareng suhu rendah tanpa ngahapus.
- - Stabilitas kimiawi:Lapisanna kedah stabil sacara kimiawi pikeun ngahindarkeun kagagalan dina suhu luhur sareng atmosfir korosif.
SiC, kalayan résistansi korosi, konduktivitas termal anu luhur, résistansi shock termal, sareng stabilitas kimia anu luhur, ngalaksanakeun saé dina lingkungan epitaxial GaN. Salaku tambahan, koefisien ékspansi termal SiC sami sareng grafit, ngajantenkeun SiC bahan anu dipikaresep pikeun palapis susceptor grafit.
Ayeuna, jinis umum SiC kalebet 3C, 4H, sareng 6H, masing-masing cocog pikeun aplikasi anu béda. Salaku conto, 4H-SiC tiasa ngahasilkeun alat-alat kakuatan tinggi, 6H-SiC stabil sareng dianggo pikeun alat optoeléktronik, sedengkeun 3C-SiC sami dina struktur GaN, sahingga cocog pikeun produksi lapisan epitaxial GaN sareng alat RF SiC-GaN. 3C-SiC, ogé katelah β-SiC, utamana dipaké salaku pilem sarta bahan palapis, sahingga bahan primér pikeun coatings.
Aya rupa-rupa métode pikeun nyiapkeunpalapis SiC, kaasup sol-gél, embedding, brushing, nyemprot plasma, réaksi uap kimia (CVR), sarta déposisi uap kimia (CVD).
Diantara ieu, metode embedding nyaéta prosés sintering fase padet suhu luhur. Ku cara nempatkeun substrat grafit dina bubuk embedding ngandung bubuk Si jeung C sarta sintering dina lingkungan gas mulya, hiji palapis SiC ngabentuk dina substrat grafit. Metoda ieu saderhana, sareng palapis beungkeut ogé sareng substrat. Sanajan kitu, palapis nu lacks ketebalan uniformity tur bisa boga pori, ngarah kana résistansi oksidasi goréng.
Métode palapis semprot
Métode palapis semprot ngalibatkeun nyemprot bahan baku cair kana permukaan substrat grafit sareng ngubaranana dina suhu khusus pikeun ngabentuk lapisan. Metoda ieu basajan jeung ongkos-éféktif tapi ngakibatkeun beungkeutan lemah antara palapis jeung substrat, palapis goréng uniformity, sarta coatings ipis jeung résistansi oksidasi low, merlukeun métode tambahan.
Métode nyemprot Ion Beam
Ion beam nyemprot ngagunakeun bedil ion beam pikeun menyemprot bahan lebur atawa sawaréh lebur kana beungeut substrat grafit, ngabentuk palapis kana solidification. Metoda ieu basajan tur ngahasilkeun palapis SiC padet. Nanging, palapis ipis ngagaduhan résistansi oksidasi anu lemah, sering dianggo pikeun palapis komposit SiC pikeun ningkatkeun kualitas.
Métode Sol-Gél
Metoda sol-gél ngalibatkeun Nyiapkeun seragam, solusi sol transparan, nutupan permukaan substrat, sarta meunangkeun palapis sanggeus drying na sintering. Metoda ieu basajan jeung ongkos-éféktif tapi hasilna coatings kalawan résistansi shock termal lemah sareng karentanan kana cracking, ngawatesan aplikasi nyebar na.
Réaksi Uap Kimia (CVR)
CVR ngagunakeun bubuk Si jeung SiO2 dina suhu luhur pikeun ngahasilkeun uap SiO, nu meta jeung substrat bahan karbon pikeun ngabentuk hiji palapis SiC. Hasilna SiC palapis beungkeut pageuh jeung substrat, tapi prosés merlukeun suhu réaksi luhur sarta waragad.
Déposisi Uap Kimia (CVD)
CVD mangrupikeun téknik utama pikeun nyiapkeun palapis SiC. Éta ngalibatkeun réaksi fase gas dina permukaan substrat grafit, dimana bahan baku ngalaman réaksi fisik sareng kimia, disimpen salaku palapis SiC. CVD ngahasilkeun palapis SiC anu kabeungkeut pageuh anu ningkatkeun oksidasi substrat sareng résistansi ablasi. Tapi, CVD gaduh waktos déposisi anu panjang sareng tiasa ngalibetkeun gas beracun.
Kaayaan Pasar
Di pasar susceptor grafit anu dilapis SiC, pabrik asing gaduh kalungguhan anu signifikan sareng pangsa pasar anu luhur. Semicera geus nungkulan téknologi inti pikeun tumuwuh palapis SiC seragam dina substrat grafit, nyadiakeun solusi nu alamat konduktivitas termal, modulus elastis, stiffness, defects kisi, sarta masalah kualitas séjén, pinuh minuhan sarat parabot MOCVD.
Outlook kahareup
Industri semikonduktor Cina ngembang pesat, kalayan ngaronjatna lokalisasi alat epitaxial MOCVD sareng aplikasi ngembangna. Pasar susceptor grafit anu dilapis SiC diperkirakeun tumbuh gancang.
kacindekan
Salaku komponén krusial dina alat semikonduktor sanyawa, mastering téhnologi produksi inti jeung localizing susceptors grafit coated SiC sacara strategis penting pikeun industri semikonduktor Cina. Widang susceptor grafit dilapis SiC domestik ngembang, kalayan kualitas produk ngahontal tingkat internasional.Semiceranarékahan pikeun janten supplier anu unggul dina widang ieu.
waktos pos: Jul-17-2024