Naon léngkah utama dina ngolah substrat SiC?

Kumaha urang ngahasilkeun-ngolah léngkah pikeun substrat SiC nyaéta kieu:

1. Orientasi Kristal: Ngagunakeun difraksi sinar-X pikeun orientasi ingot kristal.Nalika sinar X-ray diarahkeun ka beungeut kristal nu dipikahoyong, sudut sinar difraksi nangtukeun orientasi kristal.

2. Luar diaméter grinding: kristal tunggal tumuwuh di crucibles grafit mindeng ngaleuwihan diaméter baku.Diaméter luar grinding ngurangan aranjeunna kana ukuran baku.

Ngagiling Raray Tungtung: Substrat 4H-SiC 4 inci biasana ngagaduhan dua sisi posisi, primér sareng sekundér.Ngagiling raray tungtung muka edges positioning ieu.

3. Kawat Sawing: Kawat sawing mangrupakeun hambalan krusial dina ngolah substrat 4H-SiC.Retakan jeung karuksakan sub-beungeut disababkeun salila sawing kawat négatip dampak prosés saterusna, manjangkeun waktu processing jeung ngabalukarkeun leungitna bahan.Metodeu anu paling umum nyaéta sawing multi-kawat kalayan abrasive inten.Gerak bolak-balik tina kawat logam anu dibeungkeut ku abrasive inten dianggo pikeun motong ingot 4H-SiC.

4. Chamfering: Pikeun nyegah chipping ujung jeung ngurangan karugian consumable salila prosés saterusna, edges seukeut tina chip kawat-sawn chamfered kana wangun husus.

5. Thinning: Kawat sawing daun loba goresan jeung karuksakan sub-beungeut.Thinning dipigawé maké roda inten pikeun miceun defects ieu saloba mungkin.

6. grinding: Prosés ieu ngawengku grinding kasar jeung grinding rupa ngagunakeun boron carbide atawa inten abrasives leutik-ukuran pikeun nyoplokkeun Karuksakan residual jeung Karuksakan anyar diwanohkeun salila thinning.

7. Polishing: Léngkah ahir ngawengku polishing kasar jeung polishing rupa ngagunakeun alumina atawa abrasives silikon oksida.Cairan polishing softens beungeut cai, nu lajeng mechanically dihapus ku abrasives.Léngkah ieu ngajamin permukaan anu mulus sareng henteu rusak.

8. beberesih: Nyoplokkeun partikel, logam, film oksida, résidu organik, sarta rereged séjén ditinggalkeun tina léngkah processing.