Naon epitaxy?

Paling insinyur teu wawuh jeungépitaksi, nu muterkeun hiji peran penting dina manufaktur alat semikonduktor.Épitaksibisa dipaké dina produk chip béda, jeung produk béda boga tipena béda epitaxy, kaasupIeu epitaxy, Epitaksi SiC, Epitaksi GaN, jsb.

Naon epitaxy?
Epitaxy sering disebut "Epitaxy" dina basa Inggris. Kecap asalna tina kecap Yunani "epi" (hartina "di luhur") jeung "taksi" (hartina "susunan"). Sakumaha ngaranna nunjukkeun, hartina ngatur rapih dina luhureun hiji objék. Prosés epitaxy nyaéta pikeun neundeun lapisan kristal tunggal ipis dina substrat kristal tunggal. Lapisan kristal tunggal anu nembe disimpen ieu disebut lapisan epitaxial.

Aya dua jinis utama epitaksi: homoepitaxial sareng heteroepitaxial. Homoepitaxial nujul kana tumuwuh bahan sarua dina tipe sarua substrat. Lapisan epitaxial sareng substrat ngagaduhan struktur kisi anu sami. Heteroepitaxy nyaéta tumuwuhna bahan séjén dina substrat hiji bahan. Dina hal ieu, struktur kisi tina lapisan kristal epitaxially tumuwuh jeung substrat bisa jadi béda. Naon kristal tunggal sareng polikristalin?
Dina semikonduktor, urang sering ngadangu istilah silikon kristal tunggal sareng silikon polikristalin. Naha sababaraha silikon disebut kristal tunggal sareng sababaraha silikon disebut polycrystalline?

Kristal tunggal: Susunan kisi kontinyu sareng teu robih, tanpa wates sisikian, nyaéta, sadayana kristal diwangun ku kisi tunggal kalayan orientasi kristal anu konsisten. Polycrystalline: Polycrystalline diwangun ku loba séréal leutik, nu masing-masing mangrupakeun kristal tunggal, sarta orientations maranéhanana acak dina hormat ka silih. Séréal ieu dipisahkeun ku wates sisikian. Biaya produksi bahan polycrystalline leuwih handap tina kristal tunggal, ngarah masih mangpaat dina sababaraha aplikasi. Dimana prosés epitaxial bakal aub?
Dina pembuatan sirkuit terpadu basis silikon, prosés epitaxial loba dipaké. Contona, silikon epitaxy dipaké pikeun tumuwuh hiji murni tur finely dikawasa lapisan silikon dina substrat silikon, nu penting pisan pikeun pembuatan sirkuit terpadu canggih. Salaku tambahan, dina alat kakuatan, SiC sareng GaN mangrupikeun dua bahan semikonduktor bandgap lega anu biasa dianggo kalayan kamampuan penanganan kakuatan anu saé. Bahan ieu biasana tumuwuh dina silikon atawa substrat séjén ngaliwatan epitaxy. Dina komunikasi kuantum, bit kuantum dumasar semikonduktor biasana ngagunakeun struktur epitaxial silikon germanium. Jsb.

Métode tumuwuhna epitaxial?

Tilu métode semikonduktor epitaxy ilahar dipaké:

Molecular beam epitaxy (MBE): Molecular beam epitaxy) nyaéta téknologi pertumbuhan epitaxial semikonduktor anu dilakukeun dina kaayaan vakum ultra luhur. Dina téknologi ieu, bahan sumber ngejat dina bentuk atom atanapi sinar molekular teras disimpen dina substrat kristalin. MBE nyaéta téhnologi pertumbuhan pilem ipis semikonduktor pisan tepat na controllable nu persis bisa ngadalikeun ketebalan tina bahan disimpen dina tingkat atom.

CVD organik logam (MOCVD): Dina prosés MOCVD, logam organik sareng gas hidrida anu ngandung unsur anu diperyogikeun disayogikeun ka substrat dina suhu anu pas, sareng bahan semikonduktor anu diperyogikeun dibangkitkeun ngaliwatan réaksi kimia sareng disimpen dina substrat, sedengkeun sésana. sanyawa jeung produk réaksi discharged.

Uap Fase Epitaxy (VPE): Uap Phase Epitaxy mangrupakeun téhnologi penting ilahar dipaké dina produksi alat semikonduktor. Prinsip dasarna nyaéta ngangkut uap tina zat tunggal atanapi sanyawa dina gas pembawa sareng neundeun kristal dina substrat ngaliwatan réaksi kimia.