Naon MOCVD Susceptor?

TheMOCVDMetoda nyaéta salah sahiji prosés anu paling stabil anu ayeuna dianggo di industri pikeun ngembangkeun film ipis kristal tunggal kualitas luhur, sapertos epilayers InGaN fase tunggal, bahan III-N, sareng film semikonduktor kalayan struktur sumur kuantum multi, sareng penting pisan dina pabrik alat semikonduktor jeung optoeléktronik.

TheSiC palapis MOCVD susceptormangrupakeun wadah wafer husus coated kalawan silikon carbide (SiC) pikeunépitaxial pertumbuhan dina prosés déposisi uap kimia organik logam (MOCVD).

Lapisan SiC gaduh résistansi kimiawi anu saé sareng stabilitas termal, janten pilihan idéal pikeun susceptor MOCVD anu dianggo dina nungtut prosés pertumbuhan epitaxial.

Komponén konci prosés MOCVD nyaéta susceptor, anu mangrupikeun unsur konci pikeun mastikeun kaseragaman sareng kualitas film ipis anu diproduksi.

Naon susceptor a? Susceptor mangrupikeun komponén khusus anu dianggo dina prosés MOCVD pikeun ngadukung sareng memanaskeun substrat dimana film ipis disimpen. Cai mibanda sababaraha fungsi, kaasup nyerep énérgi éléktromagnétik, ngarobah kana panas, sarta merata ngadistribusikaeun panas dina substrat. Pemanasan seragam ieu penting pisan pikeun tumuwuhna film ipis seragam kalayan ketebalan sareng komposisi anu tepat.

Jenis susceptors:
1. Susceptors grafit: susceptors grafit mindeng coated ku lapisan pelindung kayaningsilikon karbida (SiC), nu dipikawanoh pikeun konduktivitas termal tinggi na stabilitas. Thepalapis SiCnyadiakeun teuas, beungeut pelindung nu resists korosi jeung degradasi dina suhu luhur.

2. Silicon carbide (SiC) susceptors: susceptors ieu dijieun sagemblengna tina SiC sarta mibanda stabilitas termal alus teuing jeung lalawanan maké. Susceptors SiC utamana cocog pikeun prosés suhu luhur jeung lingkungan corrosive.

Kumaha susceptors jalan dina MOCVD:

Dina prosés MOCVD, prékursor diwanohkeun kana kamar réaksi dimana aranjeunna terurai sareng meta pikeun ngabentuk film ipis dina substrat. Susceptor muterkeun hiji peran penting ku mastikeun yén substrat dipanaskeun merata, nu penting pikeun ngahontal sipat pilem konsisten sakuliah beungeut substrat. Bahan sareng desain susceptor dipilih sacara saksama pikeun nyumponan sarat khusus tina prosés déposisi, sapertos kisaran suhu sareng kasaluyuan kimia.

Kauntungan ngagunakeun susceptors kualitas luhur:
• kualitas pilem Enhanced: Ku nyadiakeun distribusi panas seragam, susceptor mantuan ngahontal pilem kalawan ketebalan konsisten tur komposisi, nu mangrupa kritik ka kinerja alat semikonduktor.
• Ningkatkeun efisiensi prosés: susceptors kualitas luhur ngaronjatkeun efisiensi sakabéh prosés MOCVD ku cara ngurangan likelihood defects sarta ngaronjatkeun ngahasilkeun film usable.
• Lifespan jeung reliabilitas: Susceptors dijieunna tina bahan awét kayaning SiC mastikeun reliabiliti jangka panjang sarta ngurangan biaya pangropéa.

Susceptor mangrupikeun komponén integral dina prosés MOCVD sareng langsung mangaruhan kualitas sareng efisiensi déposisi pilem ipis. Kanggo inpo nu langkung lengkep ihwal ukuran sadia, susceptors MOCVD jeung harga, punten ulah ragu ngahubungan kami. Insinyur kami bakal resep mamatahan anjeun ngeunaan bahan anu cocog sareng ngajawab sadaya patarosan anjeun.

Telepon: +86-13373889683
WhatsApp: +86-15957878134
Email: sales01@semi-cera.com