Kusababcrucibledipaké salaku wadahna sarta aya convection jero, sakumaha ukuran dihasilkeun kristal tunggal naek, convection panas sarta uniformity gradién suhu jadi leuwih hese ngadalikeun. Ku nambahkeun médan magnét pikeun nyieun conductive ngalembereh meta dina gaya Lorentz, convection bisa kalem handap atawa malah ngaleungitkeun pikeun ngahasilkeun kualitas luhur silikon kristal tunggal.
Numutkeun jenis médan magnét, éta bisa dibagi kana médan magnét horizontal, médan magnét nangtung sarta médan magnét CUSP:
Médan magnét nangtung teu bisa ngaleungitkeun convection utama alatan alesan struktural sarta jarang dipaké.
Arah komponén médan magnét médan magnét horizontal jejeg convection panas utama jeung convection kapaksa parsial témbok crucible, nu éféktif bisa ngahambat gerakan, ngajaga flatness tina panganteur tumuwuh, sarta ngurangan stripes tumuwuh.
Médan magnét CUSP ngagaduhan aliran anu langkung seragam sareng transfer panas lebur kusabab simétrina, ku kituna panalungtikan ngeunaan médan magnét nangtung sareng CUSP parantos dilaksanakeun.
Di Cina, Xi'an Universitas Téknologi geus sadar produksi jeung kristal narik percobaan kristal tunggal silikon ngagunakeun médan magnét saméméhna. Produk utamina nyaéta 6-8in jinis populér, anu ditujukeun pikeun pasar wafer silikon pikeun sél fotovoltaik surya. Di nagara deungeun, sapertos KAYEX di Amérika Serikat sareng CGS di Jerman, produk utamana nyaéta 8-16in, anu cocog pikeun batang silikon kristal tunggal dina tingkat sirkuit terpadu ultra-badag sareng semikonduktor. Aranjeunna gaduh monopoli dina widang médan magnét pikeun tumuwuh kristal tunggal kualitas luhur diaméterna ageung sareng anu paling wawakil.
Distribusi médan magnét di daérah crucible tina sistem pertumbuhan kristal tunggal mangrupikeun bagian anu paling kritis tina magnet, kalebet kakuatan sareng kaseragaman médan magnét di ujung crucible, pusat crucible, sareng anu pas. jarak handap permukaan cair. Sakabeh médan magnét transverse horizontal sarta seragam, garis magnét gaya anu jejeg sumbu pertumbuhan kristal. Numutkeun pangaruh magnét sareng hukum Ampere, coil paling caket kana ujung crucible sareng kakuatan médan anu panggedéna. Nalika jarak naék, résistansi magnét hawa ningkat, kakuatan médan laun-laun turun, sareng éta mangrupikeun pangleutikna di tengah.
Peran médan magnét superconducting
Inhibiting convection termal: Dina henteuna hiji médan magnét éksternal, silikon molten bakal ngahasilkeun convection alam salila pemanasan, nu bisa ngakibatkeun sebaran henteu rata tina pangotor sarta formasi defects kristal. Médan magnét éksternal bisa ngurangan convection ieu, sahingga sebaran hawa di jero ngalembereh leuwih seragam jeung ngurangan sebaran henteu rata tina pangotor.
Ngadalikeun laju tumuwuh kristal: Médan magnét bisa mangaruhan laju sarta arah tumuwuhna kristal. Ku persis ngadalikeun kakuatan sarta sebaran médan magnét, prosés tumuwuhna kristal bisa dioptimalkeun jeung integritas jeung uniformity tina kristal bisa ningkat. Salila tumuwuhna silikon kristal tunggal, oksigén asup kana silikon ngalembereh utamana ngaliwatan gerakan relatif ngalembereh tur crucible nu. Médan magnét ngurangan kasempetan oksigén ngahubungan silikon ngalembereh ku cara ngurangan convection of ngalembereh, kukituna ngurangan disolusi oksigén. Dina sababaraha kasus, médan magnét éksternal bisa ngarobah kaayaan termodinamika ngalembereh, kayaning ku cara ngarobah tegangan permukaan ngalembereh, nu bisa mantuan volatilization oksigén, kukituna ngurangan eusi oksigén dina ngalembereh.
Ngurangan disolusi oksigén jeung pangotor séjén: Oksigén mangrupakeun salah sahiji pangotor umum dina tumuwuhna kristal silikon, nu bakal ngabalukarkeun kualitas kristal ka deteriorate. Médan magnét bisa ngurangan eusi oksigén dina ngalembereh, kukituna ngurangan disolusi oksigén dina kristal sarta ngaronjatkeun purity tina kristal.
Ningkatkeun struktur internal kristal: Médan magnét tiasa mangaruhan struktur cacad di jero kristal, sapertos dislokasi sareng wates sisikian. Ku ngirangan jumlah cacad ieu sareng mangaruhan distribusina, kualitas kristal sadayana tiasa ningkat.
Ningkatkeun sipat listrik kristal: Kusabab médan magnét gaduh pangaruh anu signifikan dina mikrostruktur nalika pertumbuhan kristal, aranjeunna tiasa ningkatkeun sipat listrik kristal, sapertos résistivitas sareng umur pamawa, anu penting pikeun manufaktur alat semikonduktor kinerja tinggi.
Wilujeng sumping palanggan ti sakumna dunya pikeun nganjang ka kami pikeun diskusi salajengna!
https://www.semi-cera.com/
https://www.semi-cera.com/tac-coating-monocrystal-growth-parts/
https://www.semi-cera.com/cvd-coating/
waktos pos: Jul-24-2024