Prosés etching garing biasana diwangun ku opat kaayaan dasar: saméméh etching, etching parsial, ngan etching, sarta leuwih etching. Ciri utama nyaéta laju etching, selectivity, dimensi kritis, uniformity, sarta deteksi titik tungtung. Gambar 1 Saméméh étsa Gambar 2 Étsa parsial Gambar...
Maca deui