Semicerangawanohkeun nuKaset Semikonduktor, alat penting pikeun nanganan wafer anu aman sareng efisien sapanjang prosés manufaktur semikonduktor. Dirancang kalayan presisi anu luhur, kaset ieu ngajamin yén wafer anjeun disimpen sareng diangkut aman, ngajaga integritasna dina unggal tahapan.
Protection punjul tur durabilityTheKaset Semikonduktorti Semicera diwangun pikeun nawiskeun panyalindungan maksimal pikeun wafer anjeun. Diwangun tina bahan anu kuat, tahan kontaminasi, éta ngajagi wafer anjeun tina poténsi karusakan sareng kontaminasi, janten pilihan idéal pikeun lingkungan kamar bersih. Desain kaset ngaminimalkeun generasi partikulat sareng mastikeun yén wafer tetep teu kacekel sareng aman salami penanganan sareng transportasi.
Ditingkatkeun Desain pikeun Performance OptimalSemicera urangKaset SemikonduktorFitur desain anu direkayasa sacara saksama anu nyayogikeun alignment wafer anu tepat, ngirangan résiko misalignment sareng karusakan mékanis. Slot kasetna sampurna dipisahkeun pikeun nahan unggal wafer sacara aman, nyegah gerakan anu tiasa nyababkeun goresan atanapi henteu sampurna.
Versatility sarta kasaluyuanTheKaset Semikonduktornyaeta serbaguna tur cocog sareng sagala rupa ukuran wafer, sahingga cocog pikeun hambalan béda tina fabrikasi semikonduktor. Naha anjeun damel sareng ukuran wafer standar atanapi khusus, kaset ieu nyaluyukeun kana kabutuhan anjeun, nawiskeun kalenturan dina prosés manufaktur anjeun.
Penanganan Streamlined jeung EfisiensiDirancang kalayan pamaké dina pikiran, étaKaset Semikonduktor Semiceranyaeta lightweight sarta gampang pikeun nanganan, sahingga pikeun loading gancang jeung efisien sarta unloading. Desain ergonomis ieu henteu ngan ukur ngahemat waktos tapi ogé ngirangan résiko kasalahan manusa, mastikeun operasi lancar dina fasilitas anjeun.
Minuhan Standar IndustriSemicera ensures yénKaset Semikonduktorminuhan standar industri pangluhurna pikeun kualitas sareng reliabilitas. Unggal kaset ngalaman tés anu ketat pikeun ngajamin yén éta ngalakukeun sacara konsisten dina kaayaan nungtut manufaktur semikonduktor. Ieu kumawula ka kualitas ensures yén wafers anjeun salawasna ditangtayungan, ngajaga standar luhur diperlukeun dina industri.
| Barang | Produksi | Panalungtikan | Dummy |
| Parameter kristal | |||
| Polytype | 4H | ||
| Kasalahan orientasi permukaan | <11-20 >4±0,15° | ||
| Parameter listrik | |||
| Dopant | n-tipe Nitrogén | ||
| Résistansi | 0,015-0,025 ohm · cm | ||
| Parameter mékanis | |||
| diaméterna | 150,0 ± 0,2 mm | ||
| Kandelna | 350±25 μm | ||
| Orientasi datar primér | [1-100] ± 5° | ||
| Panjang datar primér | 47,5±1,5mm | ||
| Datar sekundér | Euweuh | ||
| TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| LTV | ≤3 μm (5mm * 5mm) | ≤5 μm (5mm * 5mm) | ≤10 μm (5mm * 5mm) |
| ruku | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Leumpang | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| Hareup (Si-beungeut) kasar (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Struktur | |||
| Kapadetan micropipe | <1 ea/cm2 | <10 ea/cm2 | <15 ea/cm2 |
| Kotoran logam | ≤5E10atoms/cm2 | NA | |
| BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
| TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
| Kualitas hareup | |||
| Hareupeun | Si | ||
| Beungeut bérés | Si-beungeut CMP | ||
| Partikel | ≤60ea/wafer (ukuran≥0.3μm) | NA | |
| Goresan | ≤5ea/mm. Panjang kumulatif ≤Diaméterna | Panjang kumulatif≤2*Diaméterna | NA |
| Kulit jeruk / liang / noda / striations / retakan / kontaminasi | Euweuh | NA | |
| Tepi chip / indents / narekahan / pelat hex | Euweuh | ||
| wewengkon polytype | Euweuh | aréa kumulatif≤20% | aréa kumulatif≤30% |
| Nyirian laser hareup | Euweuh | ||
| Kualitas Balik | |||
| Pungkasan deui | C-beungeut CMP | ||
| Goresan | ≤5ea / mm, Kumulatif length≤2 * Diaméterna | NA | |
| Cacad tukang (ujung chip / indents) | Euweuh | ||
| Kasar deui | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Nyirian laser deui | 1 mm (ti ujung luhur) | ||
| Ujung | |||
| Ujung | Chamfer | ||
| Bungkusan | |||
| Bungkusan | Epi-siap sareng bungkusan vakum Bungkusan kaset multi-wafer | ||
| *Catetan: "NA" hartosna henteu aya pamundut Barang anu henteu disebatkeun tiasa ngarujuk kana SEMI-STD. | |||
