Katerangan
Susceptor grafit anu dilapis SiC Semicera direkayasa nganggo substrat grafit kualitas luhur, anu sacara saksama dilapis ku Silicon Carbide (SiC) ngaliwatan prosés Deposisi Uap Kimia (CVD) canggih. Desain inovatif ieu ensures résistansi luar biasa kana shock termal jeung degradasi kimiawi, nyata manjangkeun umur susceptor grafit coated SiC sarta ngajamin kinerja dipercaya sapanjang proses manufaktur semikonduktor.
Fitur konci:
1. Konduktivitas termal punjulSusceptor grafit anu dilapis SiC nunjukkeun konduktivitas termal anu luar biasa, anu penting pikeun dissipation panas anu efisien nalika manufaktur semikonduktor. Fitur ieu ngaminimalkeun gradién termal dina permukaan wafer, promosi distribusi suhu seragam penting pikeun ngahontal sipat semikonduktor anu dipikahoyong.
2. Kimia mantap sarta Résistansi Shock termalLapisan SiC nyayogikeun panyalindungan anu kuat ngalawan korosi kimiawi sareng kejutan termal, ngajaga integritas susceptor grafit bahkan dina lingkungan pangolahan anu parah. Daya tahan anu ditingkatkeun ieu ngirangan downtime sareng manjangkeun umur, nyumbang kana paningkatan produktivitas sareng efisiensi biaya di fasilitas manufaktur semikonduktor.
3. Kustomisasi pikeun kabutuhan husussusceptors grafit coated SiC kami bisa tailored pikeun minuhan sarat husus sarta preferensi. Kami nawiskeun rangkeian pilihan kustomisasi, kalebet panyesuaian ukuran sareng variasi ketebalan palapis, pikeun mastikeun kalenturan desain sareng kinerja anu dioptimalkeun pikeun aplikasi sareng parameter prosés anu béda.
Aplikasi:
AplikasiSemicera SiC coatings dianggo dina sababaraha tahapan manufaktur semikonduktor, kalebet:
1. -LED Chip Fabrikasi
2. -Polysilicon Produksi
3. -Semikonduktor Kristal Tumuwuh
4. -Silikon jeung SiC Epitaxy
5. - Oksidasi Termal sareng Difusi (TO&D)
spésifikasi teknis:
