Semicera urangSilicon Carbide Epitaxydirekayasa pikeun minuhan tungtutan rigorous aplikasi semikonduktor modern. Ku ngagunakeun téhnik pertumbuhan epitaxial canggih, urang mastikeun yén unggal lapisan silikon carbide némbongkeun kualitas kristalin luar biasa, uniformity, sarta dénsitas cacad minimal. Karakteristik ieu penting pisan pikeun ngembangkeun éléktronika kakuatan kinerja tinggi, dimana efisiensi sareng manajemén termal penting pisan.
TheSilicon Carbide Epitaxyprosés di Semicera dioptimalkeun pikeun ngahasilkeun lapisan epitaxial kalayan ketebalan anu tepat sareng kontrol doping, mastikeun kinerja konsisten dina sauntuyan alat. Tingkat katepatan ieu penting pisan pikeun aplikasi dina kendaraan listrik, sistem énergi anu tiasa dianyari, sareng komunikasi frekuensi tinggi, dimana réliabilitas sareng efisiensi penting.
Leuwih ti éta, Semicera urangSilicon Carbide Epitaxynawarkeun konduktivitas termal ditingkatkeun jeung tegangan ngarecahna luhur, sahingga pilihan pikaresep keur alat nu beroperasi dina kaayaan ekstrim. Sipat-sipat ieu nyumbang kana umur alat anu langkung panjang sareng ningkatkeun efisiensi sistem sacara umum, khususna dina lingkungan anu daya luhur sareng suhu luhur.
Semicera ogé nyadiakeun pilihan kustomisasi pikeunSilicon Carbide Epitaxy, ngamungkinkeun pikeun solusi tailored nu minuhan sarat alat husus. Naha pikeun panalungtikan atanapi produksi skala ageung, lapisan epitaxial kami dirancang pikeun ngadukung inovasi semikonduktor generasi salajengna, ngamungkinkeun pamekaran alat éléktronik anu langkung kuat, efisien, sareng dipercaya.
Ku ngahijikeun téknologi canggih sareng prosés kadali kualitas anu ketat, Semicera mastikeun yén kamiSilicon Carbide Epitaxyproduk teu ukur minuhan tapi ngaleuwihan standar industri. Komitmen pikeun kaunggulan ieu ngajantenkeun lapisan epitaxial urang janten pondasi idéal pikeun aplikasi semikonduktor canggih, nyayogikeun jalan pikeun terobosan dina éléktronika listrik sareng optoeléktronik.
| Barang | Produksi | Panalungtikan | Dummy |
| Parameter kristal | |||
| Polytype | 4H | ||
| Kasalahan orientasi permukaan | <11-20 >4±0,15° | ||
| Parameter listrik | |||
| Dopant | n-tipe Nitrogén | ||
| Résistansi | 0,015-0,025 ohm · cm | ||
| Parameter mékanis | |||
| diaméterna | 150,0 ± 0,2 mm | ||
| Kandelna | 350±25 μm | ||
| Orientasi datar primér | [1-100] ± 5° | ||
| Panjang datar primér | 47,5±1,5mm | ||
| Datar sekundér | Euweuh | ||
| TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| LTV | ≤3 μm (5mm * 5mm) | ≤5 μm (5mm * 5mm) | ≤10 μm (5mm * 5mm) |
| ruku | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Leumpang | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| Hareup (Si-beungeut) kasar (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Struktur | |||
| Kapadetan micropipe | <1 ea/cm2 | <10 ea/cm2 | <15 ea/cm2 |
| Kotoran logam | ≤5E10atoms/cm2 | NA | |
| BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
| TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
| Kualitas hareup | |||
| Hareupeun | Si | ||
| Beungeut bérés | Si-beungeut CMP | ||
| Partikel | ≤60ea/wafer (ukuran≥0.3μm) | NA | |
| Goresan | ≤5ea/mm. Panjang kumulatif ≤Diaméterna | Panjang kumulatif≤2*Diaméterna | NA |
| Kulit jeruk / liang / noda / striations / retakan / kontaminasi | Euweuh | NA | |
| Tepi chip / indents / narekahan / pelat hex | Euweuh | ||
| wewengkon polytype | Euweuh | aréa kumulatif≤20% | aréa kumulatif≤30% |
| Nyirian laser hareup | Euweuh | ||
| Kualitas Balik | |||
| Pungkasan deui | C-beungeut CMP | ||
| Goresan | ≤5ea / mm, Kumulatif length≤2 * Diaméterna | NA | |
| Cacad tukang (ujung chip / indents) | Euweuh | ||
| Kasar deui | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Nyirian laser deui | 1 mm (ti ujung luhur) | ||
| Ujung | |||
| Ujung | Chamfer | ||
| Bungkusan | |||
| Bungkusan | Epi-siap sareng bungkusan vakum Bungkusan kaset multi-wafer | ||
| *Catetan: "NA" hartosna henteu aya pamundut Barang anu henteu disebatkeun tiasa ngarujuk kana SEMI-STD. | |||
