The Silicon Film ku Semicera mangrupakeun kualitas luhur, precision-direkayasa bahan dirancang pikeun minuhan sarat stringent industri semikonduktor. Dijieun tina silikon murni, solusi pilem ipis ieu nawiskeun kaseragaman anu saé, kemurnian anu luhur, sareng sipat listrik sareng termal anu luar biasa. Éta idéal pikeun dianggo dina sababaraha aplikasi semikonduktor, kalebet produksi Si Wafer, SiC Substrat, SOI Wafer, SiN Substrat, sareng Epi-Wafer. Film Silikon Semicera ngajamin kinerja anu dipercaya sareng konsisten, janten bahan penting pikeun mikroéléktronik canggih.
Kualitas punjul sareng Kinerja pikeun Pabrikan Semikonduktor
Film Silikon Semicera dipikanyaho ku kakuatan mékanis anu luar biasa, stabilitas termal anu luhur, sareng tingkat cacad anu rendah, anu sadayana penting dina fabrikasi semikonduktor kinerja tinggi. Naha dipaké dina produksi alat Gallium Oksida (Ga2O3), AlN Wafer, atawa Epi-Wafers, pilem nyadiakeun yayasan kuat pikeun déposisi pilem ipis jeung tumuwuhna epitaxial. Kasaluyuanana sareng substrat semikonduktor sanés sapertos SiC Substrate sareng SOI Wafers mastikeun integrasi anu mulus kana prosés manufaktur anu tos aya, ngabantosan ngajaga ngahasilkeun anu luhur sareng kualitas produk anu konsisten.
Aplikasi dina Industri Semikonduktor
Dina industri semikonduktor, Film Silikon Semicera dianggo dina rupa-rupa aplikasi, ti produksi Si Wafer sareng SOI Wafer dugi ka kagunaan anu langkung khusus sapertos SiN Substrat sareng Epi-Wafer kreasi. The purity tinggi na precision pilem ieu ngajadikeun eta penting dina produksi komponén canggih dipaké dina sagalana ti microprocessors jeung sirkuit terpadu ka alat optoeléktronik.
Film Silikon maénkeun peran kritis dina prosés semikonduktor sapertos pertumbuhan epitaxial, beungkeutan wafer, sareng déposisi pilem ipis. Sipat-sipat anu tiasa dipercaya penting pisan pikeun industri anu peryogi lingkungan anu dikontrol pisan, sapertos kamar bersih dina pabrik semikonduktor. Salaku tambahan, Film Silikon tiasa diintegrasikeun kana sistem kaset pikeun penanganan sareng transportasi wafer anu efisien nalika produksi.
Réliabilitas sareng Konsistensi Jangka Panjang
Salah sahiji mangpaat konci ngagunakeun Semicera's Silicon Film nyaéta réliabilitas jangka panjangna. Kalawan durability alus teuing jeung kualitas konsisten, pilem ieu nyadiakeun solusi diandelkeun pikeun lingkungan produksi-volume tinggi. Naha éta dipaké dina alat semikonduktor-precision tinggi atawa aplikasi éléktronik canggih, Semicera's Silicon Film mastikeun yén pabrik bisa ngahontal kinerja luhur jeung reliabilitas sakuliah rupa-rupa produk.
Naha Pilih Film Silikon Semicera?
Film Silikon ti Semicera mangrupikeun bahan penting pikeun aplikasi canggih dina industri semikonduktor. Sipat-kinerja tinggi na, kaasup stabilitas termal alus teuing, purity tinggi, sarta kakuatan mékanis, ngajadikeun eta pilihan idéal pikeun pabrik pilari pikeun ngahontal standar pangluhurna dina produksi semikonduktor. Ti Si Wafer sareng SiC Substrat dugi ka produksi alat Gallium Oxide Ga2O3, pilem ieu nyayogikeun kualitas sareng kinerja anu teu cocog.
Kalayan Film Silikon Semicera, anjeun tiasa percanten kana produk anu nyumponan kabutuhan manufaktur semikonduktor modéren, nyayogikeun pondasi anu dipercaya pikeun éléktronika generasi salajengna.
| Barang | Produksi | Panalungtikan | Dummy |
| Parameter kristal | |||
| Polytype | 4H | ||
| Kasalahan orientasi permukaan | <11-20 >4±0,15° | ||
| Parameter listrik | |||
| Dopant | n-tipe Nitrogén | ||
| Résistansi | 0,015-0,025 ohm · cm | ||
| Parameter mékanis | |||
| diaméterna | 150,0 ± 0,2 mm | ||
| Kandelna | 350±25 μm | ||
| Orientasi datar primér | [1-100] ± 5° | ||
| Panjang datar primér | 47,5±1,5mm | ||
| Datar sekundér | Euweuh | ||
| TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| LTV | ≤3 μm (5mm * 5mm) | ≤5 μm (5mm * 5mm) | ≤10 μm (5mm * 5mm) |
| ruku | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Leumpang | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| Hareup (Si-beungeut) kasar (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Struktur | |||
| Kapadetan micropipe | <1 ea/cm2 | <10 ea/cm2 | <15 ea/cm2 |
| Kotoran logam | ≤5E10atoms/cm2 | NA | |
| BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
| TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
| Kualitas hareup | |||
| Hareupeun | Si | ||
| Beungeut bérés | Si-beungeut CMP | ||
| Partikel | ≤60ea/wafer (ukuran≥0.3μm) | NA | |
| Goresan | ≤5ea/mm. Panjang kumulatif ≤Diaméterna | Panjang kumulatif≤2*Diaméterna | NA |
| Kulit jeruk / liang / noda / striations / retakan / kontaminasi | Euweuh | NA | |
| Tepi chip / indents / narekahan / pelat hex | Euweuh | ||
| wewengkon polytype | Euweuh | aréa kumulatif≤20% | aréa kumulatif≤30% |
| Nyirian laser hareup | Euweuh | ||
| Kualitas Balik | |||
| Patukang tonggong | C-beungeut CMP | ||
| Goresan | ≤5ea / mm, Kumulatif length≤2 * Diaméterna | NA | |
| Cacad tukang (ujung chip / indents) | Euweuh | ||
| Kasar deui | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Nyirian laser deui | 1 mm (ti ujung luhur) | ||
| Ujung | |||
| Ujung | Chamfer | ||
| Bungkusan | |||
| Bungkusan | Epi-siap sareng bungkusan vakum Bungkusan kaset multi-wafer | ||
| *Catetan: "NA" hartosna henteu aya pamundut Barang anu henteu disebatkeun tiasa ngarujuk kana SEMI-STD. | |||
