Silicon-Impregnated Silicon Carbide (SiC) ngawelah jeung Wafer Carrier

Katerangan pondok:

Silicon-Impregnated Silicon Carbide (SiC) Paddle and Wafer Carrier mangrupikeun bahan komposit berprestasi tinggi anu dibentuk ku nyusupkeun silikon kana matriks silikon karbida anu dicrystallized sareng ngalaman perlakuan khusus. Bahan ieu ngagabungkeun kakuatan tinggi sareng kasabaran suhu luhur tina karbida silikon anu dicrystallized sareng kamampuan infiltrasi silikon, sareng nunjukkeun prestasi anu saé dina kaayaan anu ekstrim. Hal ieu loba dipaké dina widang perlakuan panas semikonduktor, utamana dina lingkungan merlukeun suhu luhur, tekanan tinggi jeung lalawanan maké tinggi, sarta mangrupa bahan idéal pikeun manufaktur bagian perlakuan panas dina prosés produksi semikonduktor.

 

 


Rincian produk

Tag produk

Tinjauan produk

TheSilicon-Impregnated Silicon Carbide (SiC) ngawelah jeung Wafer Carrierdirekayasa pikeun nyumponan sarat nungtut tina aplikasi pamrosésan termal semikonduktor. Dijieun tina SiC kemurnian tinggi sareng ditingkatkeun ngaliwatan impregnation silikon, produk ieu nawiskeun kombinasi unik kinerja suhu luhur, konduktivitas termal anu saé, résistansi korosi, sareng kakuatan mékanis anu luar biasa.

Ku ngahijikeun elmu bahan canggih jeung manufaktur precision, solusi ieu ensures kinerja unggul, reliabilitas, jeung durability pikeun pabrik semikonduktor.

Fitur konci

1.Résistansi Suhu Luhur Luar Biasa

Kalawan titik lebur ngaleuwihan 2700 ° C, bahan SiC inherently stabil dina panas ekstrim. Impregnation silikon salajengna ningkatkeun stabilitas termal maranéhanana, sahingga aranjeunna tahan paparan berkepanjangan ka suhu luhur tanpa ngaruksak struktural atawa degradasi kinerja.

2.Konduktivitas termal punjul

The konduktivitas termal luar biasa tina silikon-impregnated SiC ensures distribusi panas seragam, ngurangan setrés termal salila tahap processing kritis. Sipat ieu manjangkeun umur alat sareng ngaminimalkeun downtime produksi, janten idéal pikeun ngolah termal suhu luhur.

3.Oksidasi jeung Résistansi Korosi

Lapisan silikon oksida anu kuat kabentuk sacara alami dina permukaan, nyayogikeun résistansi anu luar biasa pikeun oksidasi sareng korosi. Ieu ensures reliabiliti jangka panjang dina lingkungan operasi kasar, ngajaga duanana bahan jeung komponén sabudeureun.

4.Kakuatan Mékanis Tinggi sareng Résistansi Wear

Silicon-impregnated SiC ciri kakuatan compressive alus teuing jeung résistansi ngagem, ngajaga integritas struktural na dina beban tinggi, kaayaan suhu luhur. Ieu ngurangan résiko karuksakan nu patali jeung maké, mastikeun kinerja konsisten leuwih siklus pamakéan nambahan.

spésifikasi

Ngaran produk

SC-RSiC-Si

Bahan

Silicon Impregnation Silicon Carbide Compact (purity tinggi)

Aplikasi

Bagian Perlakuan Panas Semikonduktor, Bagian Alat Pabrikan Semikonduktor

formulir pangiriman

Awak dibentuk (badan disinter)

Komposisi Milik mékanis Modulus Young (GPa)

Kakuatan Bending

(MPa)

Komposisi (vol%) α-SiC α-SiC RT 370 250
82 18 800°C 360 220
Kapadetan Bulk (kg/m³) 3,02 x 103 1200°C 340 220
Suhu Tahan Panas°C 1350 Rasio Poisson urang 0.18(RT)
Harta termal

Konduktivitas termal

(W/(m· K))

Kapasitas Panas Spésifik

(kJ/(kg·K))

Koéfisién ékspansi termal

(1/K)

RT 220 0.7 RT~700°C 3,4 x 10-6
700°C 60 1.23 700~1200°C 4.3 x10-6

 

Kandungan Kotoran ((ppm)

unsur

Fe Ni Na K Mg Ca Cr

Mn

Zn Cu Ti Va Ai
Laju eusi 3 <2 <0.5 <0.1 <1 5 0.3 <0.1 <0.1 <0.1 <0.3 <0.3 25

Aplikasi

Ngolah Termal Semikonduktor:Idéal pikeun prosés sapertos déposisi uap kimia (CVD), pertumbuhan epitaxial, sareng annealing, dimana kontrol suhu anu tepat sareng daya tahan bahan penting.

   Wafer Carriers & Paddles:Dirancang pikeun nahan sareng ngangkut wafer kalayan aman salami perlakuan termal suhu luhur.

   Lingkungan Operasi ekstrim: Cocog jeung setelan nu merlukeun lalawanan ka panas, paparan kimiawi, jeung stress mékanis.

 

Kaunggulan tina Silicon-Impregnated SiC

Kombinasi karbida silikon kamurnian tinggi sareng téknologi impregnation silikon canggih masihan kauntungan kinerja anu teu aya tandinganana:

       Precision:Ningkatkeun akurasi sareng kontrol pamrosésan semikonduktor.

       Stabilitas:Tahan lingkungan anu kasar tanpa ngaganggu fungsionalitas.

       umur panjang:Manjangkeun umur jasa alat manufaktur semikonduktor.

       Efisiensi:Ningkatkeun produktivitas ku mastikeun hasil anu dipercaya sareng konsisten.

 

Naha Pilih Solusi SiC anu Diimpregnasi Silikon Kami?

At Semicera, urang ngahususkeun dina nyadiakeun solusi-kinerja tinggi tailored ka kabutuhan pabrik semikonduktor. Silicon-Impregnated Silicon Carbide Paddle sareng Wafer Carrier kami ngalaman uji anu ketat sareng jaminan kualitas pikeun nyumponan standar industri. Ku milih Semicera, anjeun kéngingkeun aksés kana bahan canggih anu dirancang pikeun ngaoptimalkeun prosés manufaktur anjeun sareng ningkatkeun kamampuan produksi anjeun.

 

Spésifikasi teknis

      Komposisi bahan:High-purity silikon carbide kalawan impregnation silikon.

   Kisaran Suhu Operasi:Nepi ka 2700 ° C.

   Konduktivitas termal:Exceptional tinggi pikeun distribusi panas seragam.

Sipat lalawanan:Oksidasi, korosi, sareng tahan ngagem.

      Aplikasi:Cocog sareng sababaraha sistem pamrosésan termal semikonduktor.

 

Tempat Gawé Semicera
Tempat gawé Semicera 2
mesin parabot
processing CNN, beberesih kimiawi, palapis CVD
Semicera Ware House
jasa kami

Taros Kami

Siap ningkatkeun prosés manufaktur semikonduktor anjeun? KontakSemiceraayeuna kanggo langkung seueur ngeunaan Silicon-Impregnated Silicon Carbide Paddle sareng Wafer Carrier kami.

      Surélék: sales01@semi-cera.com/sales05@semi-cera.com

      Telepon: +86-0574-8650 3783

   lokasi:No.1958 Jiangnan Road, Ningbo High tech, Zona, Propinsi Zhejiang, 315201, Cina


  • saméméhna:
  • Teras: