TaC coated cingcin pituduh grafittingal déposisi lapisan ipis tinatantalum karbidadina beungeut cingcin pituduh grafit pikeun ngaronjatkeun daya tahan maké na, résistansi suhu luhur jeung stabilitas kimiawi. Lapisan ieu biasana dibentuk dina beungeut cingcin pituduh grafit ku téknik sapertos déposisi uap fisik (PVD) atanapi déposisi uap kimia (CVD).
Semicera nyayogikeun palapis tantalum carbide (TaC) khusus pikeun sababaraha komponén sareng operator.Prosés palapis Semicera ngarah ngamungkinkeun palapis tantalum carbide (TaC) pikeun ngahontal kamurnian anu luhur, stabilitas suhu anu luhur sareng kasabaran kimiawi anu luhur, ningkatkeun kualitas produk kristal SIC / GAN sareng lapisan EPI (Susceptor TaC dilapis grafit), sarta manjangkeun umur komponén reaktor konci. Pamakéan tantalum carbide TaC palapis nyaéta pikeun ngajawab masalah ujung jeung ngaronjatkeun kualitas tumuwuhna kristal, sarta Semicera geus narabas direngsekeun téhnologi palapis tantalum carbide (CVD), ngahontal tingkat canggih internasional.
Saatos taun pangwangunan, Semicera parantos nalukkeun téknologiCVD TaCkalawan usaha babarengan ti departemen R & D. Defects gampang lumangsung dina prosés tumuwuhna wafers SiC, tapi sanggeus ngagunakeunTaC, bédana signifikan. Di handap ieu ngabandingkeun wafer sareng sareng tanpa TaC, ogé bagian Simicera 'pikeun pertumbuhan kristal tunggal.
Fitur utama cincin pituduh grafit anu dilapis TaC kalebet:
1. lalawanan suhu luhur: TaC palapis boga stabilitas suhu luhur alus teuing jeung bisa ngajaga stabilitas di lingkungan suhu luhur.
2. lalawanan ngagem: The karasa tinggi tina tantalum carbide lapisan ipis méré ring pituduh lalawanan maké alus tur manjangkeun umur layanan na.
3. stabilitas kimiawi: TaC palapis boga stabilitas tinggi ngalawan korosi kimiawi, sahingga cocog pikeun aplikasi dina sababaraha média corrosive.
4. Ngurangan gesekan: TaC palapis bisa éféktif ngurangan gesekan antara ring pituduh grafit sareng komponenana séjén sarta ngaronjatkeun efisiensi segel mékanis.
kalawan jeung tanpa TaC
Sanggeus ngagunakeun TaC (katuhu)
Leuwih ti éta, Semicera urangproduk TaC-coatednémbongkeun umur layanan leuwih panjang sarta lalawanan-suhu luhur gede dibandingkeun jeungpalapis SiC.Pangukuran laboratorium parantos nunjukkeun yén urangpalapis TaCkonsistén bisa ngalakukeun dina suhu nepi ka 2300 darajat Celsius pikeun période nambahan. Di handap ieu sababaraha conto sampel urang:
