Semicera nyayogikeun palapis tantalum carbide (TaC) khusus pikeun sababaraha komponén sareng operator.Prosés palapis Semicera ngarah ngamungkinkeun palapis tantalum carbide (TaC) pikeun ngahontal kamurnian anu luhur, stabilitas suhu anu luhur sareng kasabaran kimiawi anu luhur, ningkatkeun kualitas produk kristal SIC / GAN sareng lapisan EPI (Susceptor TaC dilapis grafit), sarta manjangkeun umur komponén reaktor konci. Pamakéan tantalum carbide TaC palapis nyaéta pikeun ngajawab masalah ujung jeung ngaronjatkeun kualitas tumuwuhna kristal, sarta Semicera geus narabas direngsekeun téhnologi palapis tantalum carbide (CVD), ngahontal tingkat canggih internasional.
Tantalum carbide coated carrier wafer loba dipaké dina ngolah wafer jeung prosés penanganan dina prosés manufaktur semikonduktor. Aranjeunna nyayogikeun dukungan sareng perlindungan anu stabil pikeun mastikeun kasalametan, akurasi sareng konsistensi wafer salami prosés manufaktur. Lapisan karbida Tantalum tiasa manjangkeun umur jasa pamawa, ngirangan biaya, sareng ningkatkeun kualitas sareng reliabilitas produk semikonduktor.
Katerangan ngeunaan tantalum carbide coated wafer carrier nyaéta kieu:
1. Pilihan bahan: Tantalum carbide mangrupakeun bahan kalawan kinerja alus teuing, karasa tinggi, titik lebur tinggi, résistansi korosi jeung sipat mékanis alus teuing, ku kituna loba dipaké dina prosés manufaktur semikonduktor.
2. permukaan palapis: Tantalum carbide palapis ieu dilarapkeun ka beungeut wafer carrier ngaliwatan prosés palapis husus pikeun ngabentuk seragam jeung padet tantalum carbide palapis. Lapisan ieu tiasa nyayogikeun panyalindungan tambahan sareng résistansi ngagem, bari gaduh konduktivitas termal anu saé.
3. Flatness na precision: Tantalum carbide coated wafer pamawa ngabogaan gelar luhur ti flatness na precision, mastikeun stabilitas jeung akurasi wafers salila prosés manufaktur. The flatness jeung finish tina beungeut carrier anu kritis pikeun mastikeun kualitas sarta kinerja wafer nu.
4. stabilitas suhu: Tantalum carbide coated operator wafer bisa ngajaga stabilitas di lingkungan suhu luhur tanpa deformasi atawa loosening, mastikeun stabilitas jeung konsistensi wafers dina prosés suhu luhur.
5. lalawanan korosi: Tantalum carbide coatings gaduh lalawanan korosi alus teuing, bisa nolak erosi bahan kimia jeung pangleyur, sarta ngajaga pamawa ti korosi cair jeung gas.
kalawan jeung tanpa TaC
Sanggeus ngagunakeun TaC (katuhu)
Leuwih ti éta, Semicera urangproduk TaC-coatednémbongkeun umur layanan leuwih panjang sarta lalawanan-suhu luhur gede dibandingkeun jeungpalapis SiC.Pangukuran laboratorium parantos nunjukkeun yén urangpalapis TaCkonsistén bisa ngalakukeun dina suhu nepi ka 2300 darajat Celsius pikeun période nambahan. Di handap ieu sababaraha conto sampel urang:
