Tantalum carbide coated plat rojongan susceptormangrupa susceptor atawa struktur rojongan nu ditutupan ku lapisan ipis tinatantalum karbida. Lapisan ieu tiasa dibentuk dina permukaan susceptor ku téknik sapertos déposisi uap fisik (PVD) atanapi déposisi uap kimia (CVD), masihan susceptor sipat anu unggultantalum karbida.
Semicera nyayogikeun palapis tantalum carbide (TaC) khusus pikeun sababaraha komponén sareng operator.Prosés palapis Semicera ngarah ngamungkinkeun palapis tantalum carbide (TaC) pikeun ngahontal kamurnian anu luhur, stabilitas suhu anu luhur sareng kasabaran kimiawi anu luhur, ningkatkeun kualitas produk kristal SIC / GAN sareng lapisan EPI (Susceptor TaC dilapis grafit), sarta manjangkeun umur komponén reaktor konci. Pamakéan tantalum carbide TaC palapis nyaéta pikeun ngajawab masalah ujung jeung ngaronjatkeun kualitas tumuwuhna kristal, sarta Semicera geus narabas direngsekeun téhnologi palapis tantalum carbide (CVD), ngahontal tingkat canggih internasional.
Saatos taun pangwangunan, Semicera parantos nalukkeun téknologiCVD TaCkalawan usaha babarengan ti departemen R & D. Defects gampang lumangsung dina prosés tumuwuhna wafers SiC, tapi sanggeus ngagunakeunTaC, bédana signifikan. Di handap ieu ngabandingkeun wafer sareng sareng tanpa TaC, ogé bagian Simicera 'pikeun pertumbuhan kristal tunggal.
Fitur utama pelat dukungan dasar tantalum carbide coated kalebet:
1. stabilitas suhu luhur: Tantalum carbide boga stabilitas suhu luhur alus teuing, sahingga coated base plat rojongan cocog pikeun kaperluan rojongan di lingkungan kerja suhu luhur.
2. lalawanan korosi: Tantalum carbide palapis boga résistansi korosi alus, bisa nolak korosi kimiawi jeung oksidasi, sarta manjangkeun umur jasa tina basa.
3. Karasa High sarta lalawanan maké: The karasa tinggi tina tantalum carbide palapis méré base rojongan plat lalawanan maké alus, nu cocog pikeun kali merlukeun lalawanan maké tinggi.
4. stabilitas kimiawi: Tantalum carbide boga stabilitas tinggi kana rupa-rupa zat kimia, sahingga coated base plat rojongan nedunan ogé dina sababaraha lingkungan corrosive.
kalawan jeung tanpa TaC
Sanggeus ngagunakeun TaC (katuhu)
Leuwih ti éta, Semicera urangproduk TaC-coatednémbongkeun umur layanan leuwih panjang sarta lalawanan-suhu luhur gede dibandingkeun jeungpalapis SiC.Pangukuran laboratorium parantos nunjukkeun yén urangpalapis TaCkonsistén bisa ngalakukeun dina suhu nepi ka 2300 darajat Celsius pikeun période nambahan. Di handap ieu sababaraha conto sampel urang:
