Semicera nyayogikeun palapis tantalum carbide (TaC) khusus pikeun sababaraha komponén sareng operator.Prosés palapis Semicera ngarah ngamungkinkeun palapis tantalum carbide (TaC) pikeun ngahontal kamurnian anu luhur, stabilitas suhu anu luhur sareng kasabaran kimiawi anu luhur, ningkatkeun kualitas produk kristal SIC / GAN sareng lapisan EPI (Susceptor TaC dilapis grafit), sarta manjangkeun umur komponén reaktor konci. Pamakéan tantalum carbide TaC palapis nyaéta pikeun ngajawab masalah ujung jeung ngaronjatkeun kualitas tumuwuhna kristal, sarta Semicera geus narabas direngsekeun téhnologi palapis tantalum carbide (CVD), ngahontal tingkat canggih internasional.
Silicon carbide (SiC) mangrupakeun bahan konci dina generasi katilu semikonduktor, tapi laju ngahasilkeun na geus faktor ngawatesan pikeun tumuwuh industri. Saatos tés éksténsif di laboratorium Semicera urang, geus kapanggih yén disemprot jeung sintered TaC lacks purity perlu jeung uniformity. Kontras, prosés CVD ensures tingkat purity of 5 PPM jeung uniformity alus teuing. Pamakéan CVD TaC nyata ngaronjatkeun laju ngahasilkeun wafers silikon carbide. Urang ngabagéakeun diskusiTantalum Carbide CVD palapis Guide Ring pikeun ngirangan deui biaya wafer SiC.
Saatos taun pangwangunan, Semicera parantos nalukkeun téknologiCVD TaCkalawan usaha babarengan ti departemen R & D. Defects gampang lumangsung dina prosés tumuwuhna wafers SiC, tapi sanggeus ngagunakeunTaC, bédana signifikan. Di handap ieu ngabandingkeun wafer sareng sareng tanpa TaC, ogé bagian Simicera 'pikeun pertumbuhan kristal tunggal.
kalawan jeung tanpa TaC
Sanggeus ngagunakeun TaC (katuhu)
Leuwih ti éta, Semicera urangproduk TaC-coatednémbongkeun umur layanan leuwih panjang sarta lalawanan-suhu luhur gede dibandingkeun jeungpalapis SiC.Pangukuran laboratorium parantos nunjukkeun yén urangpalapis TaCkonsistén bisa ngalakukeun dina suhu nepi ka 2300 darajat Celsius pikeun période nambahan. Di handap ieu sababaraha conto sampel urang:
