Semicera nampilkeun adat kualitas luhursilikon carbide cantilever ngawelahdidamel pikeun ningkatkeun prosés manufaktur semikonduktor. The inovatifSiC ngawelahdesain ensures durability luar biasa tur résistansi termal tinggi, sahingga komponén penting pikeun penanganan wafer dina lingkungan-suhu luhur nangtang.
TheSilicon carbide ngawelahdiwangun pikeun tahan siklus termal ekstrim bari ngajaga integritas struktural, mastikeun angkutan wafer dipercaya salila fase kritis produksi semikonduktor. Kalawan kakuatan mékanis punjul, ieuparahu waferngaminimalkeun résiko karuksakan wafers, ngarah kana ngahasilkeun luhur sarta kualitas produksi konsisten.
Salah sahiji inovasi konci dina paddle SiC Semicera perenahna dina pilihan desain khususna. Disesuaikeun pikeun nyumponan kabutuhan produksi anu khusus, paddle nawiskeun kalenturan dina integrasi sareng sagala rupa pangaturan alat, ngajantenkeun solusi idéal pikeun prosés fabrikasi modern. Konstruksi anu hampang tapi kuat ngamungkinkeun penanganan anu gampang sareng ngirangan downtime operasional, nyumbang kana efisiensi produksi semikonduktor.
Salian sipat termal sareng mékanis, étaSilicon carbide ngawelahnawarkeun résistansi kimiawi alus teuing, sahingga bisa ngajalankeun reliably sanajan dina lingkungan kimia kasar. Hal ieu ngajadikeun eta utamana cocog pikeun pamakéan dina prosés ngalibetkeun etching, déposisi, sarta perlakuan suhu luhur, dimana ngajaga integritas parahu wafer penting pisan pikeun mastikeun kaluaran kualitas luhur.
| Sipat fisik Recrystallized Silicon Carbide | |
| Harta | Nilai has |
| Suhu gawé (°C) | 1600°C (kalayan oksigén), 1700°C (lingkungan réduksi) |
| eusi SiC | > 99,96% |
| Eusi Si bébas | < 0,1% |
| Kapadetan bulk | 2,60-2,70 g / cm3 |
| Porosity semu | < 16% |
| Kakuatan komprési | > 600 MPa |
| kakuatan bending tiis | 80-90 MPa (20°C) |
| kakuatan bending panas | 90-100 MPa (1400°C) |
| Ékspansi termal @1500°C | 4.70 10-6/°C |
| Konduktivitas termal @1200°C | 23 W/m•K |
| Modulus elastis | 240 GPa |
| Résistansi shock termal | Kacida alusna |
