Silicon carbide (SiC) bahan kristal tunggal boga lebar gap band badag (~ Si 3 kali), konduktivitas termal tinggi (~ Si 3,3 kali atawa GaAs 10 kali), laju migrasi jenuh éléktron tinggi (~ Si 2,5 kali), listrik ngarecahna tinggi widang (~Si 10 kali atawa GaAs 5 kali) jeung ciri beredar lianna.
Alat SiC gaduh kaunggulan anu teu tiasa diganti dina widang suhu luhur, tekanan tinggi, frekuensi tinggi, alat éléktronik kakuatan tinggi sareng aplikasi lingkungan ekstrim sapertos aerospace, militer, tanaga nuklir, sareng sajabana, ngadamel cacad tina alat bahan semikonduktor tradisional sacara praktis. aplikasi, sarta laun-laun jadi aliran utama semikonduktor kakuatan.
4H-SiC Silicon carbide substrat spésifikasi
Item项目 | Spésifikasi 参数 | |
Polytype | 4H -SiC | 6H- SiC |
Diameter | 2 inci |3 inci |4 inci |6 inci | 2 inci |3 inci |4 inci |6 inci |
Kandelna | 330 μm ~ 350 μm | 330 μm ~ 350 μm |
Konduktivitas | N - tipe / Semi-insulating | N - tipe / Semi-insulating |
Dopant | N2 (Nitrogén)V (Vanadium) | N2 (Nitrogén) V (Vanadium) |
Orientasi | Dina sumbu <0001> | Dina sumbu <0001> |
Résistansi | 0,015 ~ 0,03 ohm-cm | 0,02 ~ 0,1 ohm-cm |
Kapadetan Micropipe (MPD) | ≤10/cm2 ~ ≤1/cm2 | ≤10/cm2 ~ ≤1/cm2 |
TTV | ≤ 15 μm | ≤ 15 μm |
Bow / Warp | ≤25 μm | ≤25 μm |
Beungeut | DSP/SSP | DSP/SSP |
Kelas | Produksi / Panalungtikan kelas | Produksi / Panalungtikan kelas |
Kristal Stacking runtuyan | ABCB | ABCABC |
Parameter kisi | a=3.076A , c=10.053A | a=3.073A , c=15.117A |
Misalna/eV(Band-gap) | 3.27 eV | 3.02 eV |
ε (Diéléktrik Konstanta) | 9.6 | 9.66 |
Indéks réfraksi | n0 = 2,719 ne = 2,777 | n0 = 2,707 , ne = 2,755 |
6H-SiC Silicon Carbide spésifikasi substrat
Item项目 | Spésifikasi 参数 |
Polytype | 6H-SiC |
Diameter | 4 inci |6 inci |
Kandelna | 350μm ~ 450μm |
Konduktivitas | N - tipe / Semi-insulating |
Dopant | N2 (Nitrogén) |
Orientasi | <0001> kaluar 4 ° ± 0,5 ° |
Résistansi | 0,02 ~ 0,1 ohm-cm |
Kapadetan Micropipe (MPD) | ≤ 10/cm2 |
TTV | ≤ 15 μm |
Bow / Warp | ≤25 μm |
Beungeut | Si raray: CMP, Epi-Siap |
Kelas | Kelas panalungtikan |