Dilapis SiCBagian Satengah Grafitmangrupakeun komponén konci dipaké dina prosés manufaktur semikonduktor, utamana pikeun parabot epitaxial SiC.Kami nganggo téknologi anu dipaténkeun pikeun ngadamel bagian halfmoon kalayan kamurnian anu luhur pisan, kaseragaman palapis anu saé sareng umur jasa anu saé, ogé résistansi kimia anu luhur sareng sipat stabilitas termal.
